山東埃爾派 | 點擊量:0次 | 2021-01-13
球形硅微粉生產(chǎn)方法介紹
一種工業(yè)粉體,一度100%依賴進口,不僅價格十分昂貴,而且使用前還需接受調(diào)查,禁止用于軍工、航空航天等領(lǐng)域,斷貨也時有發(fā)生,屬于被嚴重“卡脖子”的關(guān)鍵材料。
這種高端的工業(yè)粉體是航空航天、超級計算機、5G通訊、軍工、安防等軍民高新技術(shù)領(lǐng)域所需大規(guī)模集成電路封裝及基板的必備關(guān)鍵材料,其十余種制備方法當(dāng)中又以氣體燃燒火焰法最具工業(yè)化應(yīng)用前景,然而該技術(shù)卻長期被日美韓等國封鎖與壟斷。
它就是能確保大規(guī)模集成電路穩(wěn)定工作的環(huán)氧塑封關(guān)鍵填料——球形硅微粉。對球形硅微粉的制備技術(shù)進行攻關(guān),在保障國家信息安全、促進礦物資源綜合利用及我國集成電路配套微電子材料國產(chǎn)化等方面都具有極其重要的意義。
制備球形硅微粉是一項跨學(xué)科的高難度工程,世界上僅有日本、美國、加拿大、德國和俄羅斯等少數(shù)國家掌握此技術(shù)。由于該技術(shù)涉及高性能芯片技術(shù)的開發(fā),國外對硅微粉球形化技術(shù)高度保密,獲得的國外產(chǎn)品參數(shù)也不完整、專用設(shè)備更是無法見到。
相比射頻等離子球形化法、直流電弧等離子球形化法、碳極電弧加熱等高溫球形化方法、高溫熔融噴射球形化法,火焰法球形化工藝更加簡化、控制更加容易、能源消耗成本更低且適于工業(yè)放大。
但無論以哪一種方法制備球形硅微粉,最核心的問題還是硅微粉的球形化,主要包括超微微粉的連續(xù)穩(wěn)定輸送、高焓高能的穩(wěn)定溫度場、不對硅微粉造成二次污染的清潔熱源、粘稠的石英熔融霧滴的高效率冷卻與回收等諸多技術(shù)難題。
日本是世界上最早開發(fā)成功球形硅微粉的國家,上世紀80年代開始,日本就申請了大量的火焰制備球形硅微粉的專利。以日本電氣化學(xué)株式會社、日本隆森等為主的一批企業(yè)己大批量生產(chǎn)球形硅微粉并運用到航天、超大屏幕電子顯像和大規(guī)模集成電路中。
近些年,由江蘇聯(lián)瑞新材料股份有限公司、南京理工大學(xué)、廣東生益科技股份有限公司三家單位緊密合作,經(jīng)過十余年的艱辛攻關(guān),攻克了一系列的技術(shù)壁壘與瓶頸,所研發(fā)出的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的火焰法制備電子級球形硅微粉的工藝技術(shù)及成套裝備與應(yīng)用技術(shù),終于打破了國外技術(shù)壟斷與封鎖。
據(jù)獲獎項目公示,該技術(shù)已建成年產(chǎn)9000噸的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線,形成了系列化產(chǎn)品。產(chǎn)品經(jīng)國內(nèi)外集成電路封裝及基板多家知名客戶應(yīng)用,替代進口并出口日韓。該項目產(chǎn)品目前國內(nèi)市場占有率約65%,迫使進口產(chǎn)品平均價格下降50%以上。
該技術(shù)經(jīng)專家鑒定為:“項目總體技術(shù)達到國際先進水平,其中產(chǎn)品的球形度、球化率、磁性異物指標達到國際領(lǐng)先水平。”
經(jīng)粉體網(wǎng)編輯的梳理,發(fā)現(xiàn)該項技術(shù)具有以下的創(chuàng)新點:
(1)理論上,揭示了在火焰中硅微粉成球的規(guī)律及影響因素,提出了顆粒成球溫度場、氣流場、物料流的表征方法及協(xié)同作用機制;
(2)工藝上,通過流量、壓力、頻率等多參數(shù)協(xié)同調(diào)控與優(yōu)化,掌握了溫度場、氣流場、物料流調(diào)控技術(shù),開發(fā)出防顆粒融聚、完全燃燒控制等技術(shù);
(3)裝備上,設(shè)計出了防積碳燃燒器和防粘壁新型爐膛,獲得了高效、作業(yè)周期長的成套工藝自動化控制系統(tǒng)及制備球形硅微粉成套設(shè)備。
此外,針對高表面能、難分散球形硅微粉在集成電路封裝及基板中的大規(guī)模應(yīng)用,該項目發(fā)明了應(yīng)用于不同極性有機體系的球形硅微粉改性技術(shù),開發(fā)出多種體系的球形硅微粉有機漿料。
埃爾派位于山東省濰坊市安丘市先進制造業(yè)產(chǎn)業(yè)園,擁有逾50000平方米的機械生產(chǎn)基地和現(xiàn)代化的管理制度,自成立以來,牢記“以粉體技術(shù)開創(chuàng)先進材料的未來”的使命,秉承“合規(guī)篤信,和合共生”的價值觀,制定了“不求所有,但求所用”的人才戰(zhàn)略,與多所高等院校合作簽署“產(chǎn)學(xué)研”發(fā)展計劃。
由埃爾派自主研制的粉碎機、分級機,以及顆粒整形、包覆、修飾等關(guān)鍵技術(shù)的突破,打破了國外技術(shù)壁壘,填補了國內(nèi)行業(yè)空白,大大推進了醫(yī)藥、食品、化工、礦物、新材料、固廢處理等領(lǐng)域的技術(shù)進步和產(chǎn)業(yè)升級。先后榮獲科技部“科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金”、“山東省首批瞪羚企業(yè)”、“山東省隱形冠軍企業(yè)”、“高新技術(shù)企業(yè)”、“中國專利山東明星企業(yè)”等榮譽稱號。
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